반도체 장비용 부품

MITS의 반도체 장비용 부품입니다

CVD, Dry, Wet Etching, Sputter 등의 공정에서 플라즈마, 고온, 화학적 환경에서 사용되는 Wafer Guide류, Lift Pin&Block류, 체결부품류, Pipe류, Gasket&Pad&Ring류 등은 내플라마즈성, 내열성, 내화학성, 내마모성 등이 필요하여 PI, Celazole, Peek, PTFE, Ultem 등과 같은 슈퍼엔지니어링 플라스틱의 정밀 가공품이 주로 사용됨